О методологии оценки конформности атомно-слоевого осаждения тонких пленок в высокоаспектных наноструктурах

11.07.2019

Васильев В.Ю. О методологии оценки конформности атомно-слоевого осаждения тонких пленок в высокоаспектных наноструктурах / Наноиндустрия, 2019, №3-4, c.194-204.

Рассмотрены проблемы и способы количественной характеризации конформности тонкопленочных покрытий на поверхностях высокоаспектных наноструктур при атомно-слоевом осаждении (АСО). Автор развивает ранее предложенную методологию анализа конформности тонкопленочных покрытий методами химического и плазменного осаждения из газовой фазы, и АСО. Предложенная автором методология позволяет проводить адекватную оценку и количественное сравнение результатов для структур различной сложности при использовании различных методов и режимов получения тонких пленок методом АСО.

Скачать PDF

DOI: 10.22184/1993-8578.2019.12.3-4.194.204